古代
刻意避免食肉的習慣最早可零星地出現於儀式之類的活動中，或為暫時的淨化，或為一種祭司功能的限定。主張平常用無肉飲食則大約在西元前1千年中期，可能是各自獨立地同時在印度和東地中海地帶作為當時哲學覺醒之一部分而展開。在地中海一帶，避免食肉的首次記載出於薩摩斯島的畢達哥拉斯(活動時期西元前530年)和其隨從的教諭中。信奉畢氏學說者歸納出某些奧菲斯(Orpheus)典禮的禁忌——不僅拒食肉類，並且拒食豆類和錦葵屬植物——他們可能是受到埃及僧侶的習俗，或肥沃月灣的個別思想家的影響。信奉畢氏學說者聲稱所有動物的血族關係為人類對於其他動物仁慈的基礎，因此不能為食用而殺生。從柏拉圖以來，許多異教徒哲學家(例如伊比鳩魯、普盧塔克〔Plutarch〕)，尤其是新柏拉圖學派都推薦無肉的飲食；這想法帶有非難禮拜時的流血犧牲的意味，常關聯於靈魂轉世的信仰並且更普遍地，和與人類可賴以生存的原則一致的宇宙和諧原則有關。在印度，佛教徒和耆那教徒基於道德和禁欲的理由，認為人類不應加害有知覺的生物，因此反對為食物而殺生。這種想法很快地也被婆羅門教所接納，而且特別被應用在牛身上；地中海地區也有相同非難流血犧牲的想法，這種想法常與宇宙協調感相關。
在稍後之世紀中，素食主義在印度和地中海領域中有不同的命運。在印度本地，雖然佛教逐漸衰微，但是不害(ahimsa)的理想與其無肉的飲食之結果，在西元後第1千紀中穩定地散布到上層階級(尤其是毗濕奴信仰)的許多人，甚至為有些下層階級所接納。素食主義隨著佛教傳出印度之外，向北和向東遠播至中國和日本，但是比較不虔誠的佛教徒只限制自己避免殺動物，如果有別人供應動物的屍體，他們是會吃的。在某些國家中，魚類被歸為其他無肉的飲食中。
印度河以西，得勢的一神教傳統比較不熱衷素食主義。然而，希伯來語《聖經》中記載著這種信仰︰在天堂中最早的人類是不食肉類的，只有在諾亞的水災之後才被允許，而當時肉裡的血被認為是其中的生命，是不可飲用的。苦行的猶太團體和有些早期的基督教領袖不贊成肉食，認為是奢侈、貪心、殘忍而昂貴的。有些基督教修道會戒除肉食，避免食肉甚至曾作為對俗人的一種懲罰。許多伊斯蘭教徒對素食主義者敵視，有些伊斯蘭教蘇非派的神祕主義者(他們變成伊斯蘭教徒精神生活的主要領導者)則對精神的追求者推薦無肉的飲食。16世紀在印度的伊斯蘭教國王阿克巴(Akbar)推薦無肉飲食為蘇非派的習俗。
現代
隨著現代的西方生活和世界生活的演變，素食主義也進入一個新階段。作為17和18世紀歐洲的人道主義的一部分，加上人們對道德進步的信心、對動物受苦的憐憫之情復甦、畢達哥拉斯反對肉食的學說再興，有些新教徒團體經由力求至善地閱讀《聖經》而開始無肉飲食。持不同哲學觀點的人主張素食主義——例如，伏爾泰贊成，雪萊和梭羅則實行這種飲食。19世紀早期的素食者通常反對飲酒及食肉，在當時豐富而粗膩的肉食的對比下，清淡飲食的營養效果正投其所好，就如同熱衷於道德感一般。有些人提倡只食不需烹調即可食用之物。像往常一樣，素食主義總傾向於將素食與人道以及和宇宙和諧的生活方式結合。
19世紀時，此運動的影響開始波及非素食者。到了20世紀早期，它實質上助長了非素食者改變和淡化飲食的趨勢——特別是在說英語的國家中，美國的素食者發明了花生醬和玉米片之類的食物。在某些地方，素食食物被簡單地認為是治療特別疾病的許多養生之道中的一種。相形之下，在其他地區，如德國，無肉之飲食則只是素食主義中的一項要素，人們將它視為趨向簡樸與健康生活習慣的大改革——素食主義者所謂的「素食主義」一字並非起源於「蔬菜食物」(vegetable food)，而是起源於拉丁字vegetus,意思是「積極的、精力充沛的」。
整體看來，素食運動總是在有道德傾向的人推動下所展開，譬如(近代的)托爾斯泰和蕭伯納，以及某些宗教的教派，譬如耶穌復臨安息日會和通神論者(Theosophist)，但同樣顯示對素食的重視的特別團體也已成立。英國和美國(費城)的聖經基督教教派領先建立了全國性的素食主義社團，並分別發行期刊，此類社團於1847年在英國首次成立。1889年暫時性的素食主義會社的國際聯盟成立。1908年較持久的組織成立，如國際素食者同盟，其後數年，西方人在有些印度和佛教徒傳統的素食者的努力下聯合起來。素食餐館、學校和養老或療養院都興起，特別是在某些歐洲國家(在印度，鐵路必定要建立雙重餐館制度——素食和非素食)。在西方，有將高蛋白的蔬菜食品加工成為不同種類和口味的模擬肉食的特殊工業，而「健康食品」店也供應順應素食者口味的產品。為了同一目的，素食團體在蛋白質的重要性被確認後，發行以烹調美味的豆類、乾果、乳酪和蛋類為重點的食譜。國際素食者同盟的科學顧問委員會並且從科學雜誌中摘要那些可助長發展更符合素食道德標準的食物與藥物的文章。
