简介：1998年8月，由教育部和香港爱国实业家李嘉诚先生及其领导的李嘉诚基金会共同筹资合作实施的“长江学者奖励计划”正式启动。
合肥工业大学仪器仪表学院“精密仪器及机械学科”于2000年被国务院学位办批准设立“长江学者奖励计划”特聘教授岗位，2001年经教育部和香港李嘉诚基金会批准，正式聘请台湾大学范光照教授为该学科首任长江学者特聘教授。范光照教授2001年12月到岗后，即着手创建纳米测量实验室，作为微纳米测量技术的研究基地，为在任期内完成一台具有国际先进水平的纳米三坐标测量机的研制工作创造必需的工作件。经过半年多的努力，于2002年8月完成了合肥工业大学纳米测量实验室的基本建设工作。
合肥工业大学纳米测量实验室由普通恒温工作区和高精度恒温恒湿洁净室组成，已购置了部分科研用仪器设备。目前纳米测量实验室已成为数项高水平科研项目的研究基地。
合肥工业大学纳米测量实验室成立后，“长江学者奖励计划基金项目”－“纳米三坐标测量机的研制”开始展开，纳米测量技术已成为世界精密测量学科领域前沿的科学，作为标准的测量载体的体三坐标测量机的研制已成为各国学者研究的热点。美国NIST、英国NPL、德国PTB等国家级实验室以及Tokyo Univ.、Endihoven Univ.等各国著名大学都开始进行研究。
2003年，国家自然基金项目“创新型高速纳米测量微型探头机理的研究”也申请成功并展开研究；同年，申请获得重大国际合作项目“纳米三维测量关键技术与系统研究”，同澳大利亚南澳大学共同承担其关键技术的研究。
2004年9月，范光照教授被合肥工业大学续聘特聘教授，在未来三年里将带领纳米测量。
实验室以及学院相关专业方向在精密测量技术领域更进一步。
在研项目：1.纳米三维测量关键技术与系统研究
2.创新型高速纳米测量微型探头机理的研究
3.纳米三坐标测量机的研制
4.立体显微技术
研究团队：范光照 教授 费业泰 教授余晓芬 教授 陈晓怀 教授
张 辉 教授 胡鹏浩 副教授
学术活动：国际机械工程精密测量学术研讨会（ISPMM'2004)和中国计量测试学会几何量专业2004年年会于2004年8月24日－28日在北京召开，并列为中国计量院科学研究院五十周年院庆的学术活动之一。主办单位为合肥工业大学（HFUT）和中国计量科学研究院（NIM）。
