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目录：图书,工业技术,机械、仪表工业,综合,
品牌：王伯雄
基本信息
·出版社：清华大学出版社
·页码：223 页码
·出版日：2006年
·ISBN：7302130639
·条码：9787302130635
·版次：1
·装帧：平装
·开本：16开 16开
内容简介
本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。
全书共4章，内容包括：微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容；微型传感器的工作原理及其典型应用；微纳米测量技术中的光学方法，光学测量系统的结构及应用；微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、MEMS材料机械特性、微应力和微应变、微位移、速度和加速度、振动、声和超声等典型物理量的测量技术应用。
本书可作为高等院校微机电系统工程、测控、仪器、自动化、机电一体化等专业的本科生和研究生教材，也可作为工程技术人员的参考书。
编辑推荐
本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。本书可作为高等院校微机电系统工程、测控、仪器、自动化、机电一体化等专业的本科生和研究生教材，也可作为工程技术人员的参考书。
目录
1 绪论
1.1测量和测量系统
1.2微纳米技术和微系统技术
1.2.1微纳米技术的产生和发展
1.2.2微系统技术
1.2.3微系统技术加工方法
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