微机电系统（MEMS）原理、设计和分析
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作者： 田文超著
出 版 社： 西安电子科技大学出版社
出版时间： 2009-5-1字数：版次： 1页数： 250印刷时间：开本： 16开印次：纸张：I S B N ： 9787560622231包装： 平装内容简介
本书系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。
本书可供高等学校机械、电子、仪器、微电子器件专业高年级本科生和研究生使用，也可为相关工程技术人员及科技管理人员提供参考。
作者简介
田文超，男，1968年出生，博士后，副教授，现在西安电子科技大学机电工程学院从事教学与科研工作。主要研究方向为微传感器和微执行器设计仿真、MEMS表面和界面分析以及电子封装技术。先后主持或参与10项国家及省部级项目，发表学术论文55篇，其中23篇被三大检索（SCl、El和ISTP）收录。记者对象：本科生、研究生、相关工程技术人员及科技管理人员参考使用。
目录
第1章微机电系统概述
1.1微机电系统的基本概念
1.2微机电系统的研究现状
1.3微机电系统的应用
1.4微机电系统的特点和研究领域
第2章微机电系统常用材料
2.1硅
2.1.1单晶硅
2.1.2 晶体结构
2.1.3弥勒指数
2.1.4机械特性
2.2硅化合物
2.2.1多晶硅
2.2.2氧化硅
2.2.3碳化硅
2.2.4氮化硅
2.3砷化镓
2.4陶瓷
2.5形状记忆合金
2.6磁致伸缩材料
2.7流变体
2.7.1电流变体
2.7.2磁流变体
2.7.3铁流
第3章微机电系统的固体力学问题
3.1尺寸效应
3.2梁的力学问题
3.2.1应变和应力
3.2.2粱的弯曲变形
3.3膜的力学问题
3.3.1薄膜弯曲
3.3.2周边固支圆形薄膜弯曲
3.3.3周边固支矩形薄膜弯曲
3.4机械振动
3.4.1无阻尼自由振动
3.4.2共振
3.4.3阻尼自由振动
3.5粘附力
3.5.1粘附力的实质及其研究方法
3.5.2分子动力学
3.5.3Hamaker微观连续介质理论
3.6机电系统中的拉格朗日一麦克斯韦方程
3.6.1电路方程
3.6.2有质动力
3.6.3拉格朗日一麦克斯韦方程
第4章微机电系统加工技术基础
4.1微电子加工工艺
4.1.1光刻
4.1.2淀积
4.1.3腐蚀
4.1.4键合
4.1.5外延
4.1.6体硅加工
4.1.7表面加工
4.1.8LIGA技术
4.1.9准分子激光工艺
4.1.10分子操纵技术
4.1.11封装
4.2精密加工和特种加工
4.2.1精密加工
4.2.2特种加工
第5章微机电系统工作原理
5.1微传感器
5.1.1压阻传感器
5.1.2电容传感器
5.1.3压电传感器
5.1.4谐振传感器
5.1.5隧道传感器
5.1.6热传感器
5.1.7光传感器
5.1.8化学传感器
5.2微加速度计和微陀螺仪
5.2.1线微加速度计
5.2.2差动电容微加速度计
5.2.3跷跷板式微加速度计
5.2.4三明治式微加速度计
5.2.5梳齿式微加速度计
5.2.6微加速度计的研究方向
5.2.7微陀螺传感器
……
第6章微机电系统表面特性
第7章微机电系统检测技术
第8章微机电系统应用
第9章COMSOL微件及微机电系统模块仿真
参考文献
书摘插图
第1章微机电系统概述
随着微/纳米科学与技术（Micr0/Nano Science and Technology）的发展，以形状尺寸微小或操作尺寸极小为特征的微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一项高新技术，并且是当前一个十分活跃的研究领域。MEMS涉及多学科交叉，包括材料、机械、电子、微电子、生物学、医学、信息等工程技术学科和力学、物理学、化学、光学等基础学科。
MEMS具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境的特点，有着广泛的应用前景，在世界范围内，市场销量呈指数形式上升，成为新的经济增长点。MEMS在航空航天、精密机械、生物医学、汽车工业、家用电器、环境保护、通信、军事等领域有着广泛的应用潜力，成为广大科技工作者研究的热点，被列为21世纪关键技术之首。
本章将介绍MEMS的基本概念、特点、研究现状和研究领域。
1.1微机电系统的基本概念
MEMS是美国的习惯用词；在欧洲被称为微系统技术（Micro System Technology，MST）；在日本被称为微机器（Micro-Machine）。由于美国的MEMS总体研究水平处于领先地位，因此，本书沿用MEMS叫法。
MEMS是以微细加工技术为基础，将微传感器、微执行器和电子线路、微能源等组合在一起的微机电器件、装置或系统。它既可以根据电路信号的指令控制执行元件实现机械驱动，也可以利用传感器探测或接收外部信号。传感器将转换后的信号经电路处理，再由执行器变为机械信号，完成执行命令。MEMS是一种获取、处理和执行操作的集成系统。
MEMS将微电子技术和微细加工技术相结合，实现了微电子与机械的融合。完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、接口电路及微能源组成的一体化微型器件或系统，用于完成传统大尺寸系统所不能完成的任务，也可以把独立微器件，如微传感器或执行器直接嵌入到大尺寸系统中，以达到提高系统可靠性、降低成本、实现系统智能化和自动化的要求。
……
