微机电系统工程基础(普通高等教育“十一五”国家级规划教材)
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品牌: 王琪民
基本信息·页码:370 页
·出版日期:2010年01月
·ISBN:7312024688
·条形码:9787312024689
·版本:1
·装帧:平装
·丛书名:普通高等教育“十一五”国家级规划教材
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内容简介微机电系统是20世纪末兴起,并在21世纪初开始快速发展的高科技前沿领域。其所涉及领域不断扩大,相关研究也日趋深入。本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章,较为详细地介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作机理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计、建模方法和应注意的事项等,还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基础知识,分析了微系统中的工程特点,与传统工程科学的区别,传统理论在微机电系统应用中所受到的限制及其修正,微机电系统中常见的失效方式及其应对原则等。 本书可供高等学校相关专业高年级选做本科教育教材,也可以供感兴趣的研究生、科研人员参考之用。