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參考答案:大面积溅射源,用于在线性移动的基材上镀上金属膜和结合层,特别适用于生产和试生产装置。
特点
具有磁性系统的、密实的阴极装置和暗区屏蔽
外部冷却水和供电设施
密实的或粘合的靶材
靶材间接冷却以获得高功率密度
WSM可选择直接冷却的粘结板方式
技术参数
靶宽度:100和/或240mm
靶长度:500-4000mm
100mm的格栅
靶材厚度:最大22mm
靶材的名义利用率:最大40%
电源功率:直流10-90kW
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密实的或粘合的靶材
靶材间接冷却以获得高功率密度
WSM可选择直接冷却的粘结板方式
技术参数
靶宽度:100和/或240mm
靶长度:500-4000mm
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靶材厚度:最大22mm
靶材的名义利用率:最大40%
电源功率:直流10-90kW