西安电子科技大学微电子研究所是学校直属的重点科研和教学机构之一。它是在半导体器件与微电子学科基础上于1987年创建的。微电子研究所下属4个研究室：半导体器件与电路可靠性研究室，新型器件和新工艺研究室，计算机辅助设计与专用集成电路研究室，微电子实践中心。现有教师和科技人员54人，其中教授10人，副教授和高级工程师13人，博士学位获得者4人，在职攻读博士学位的3人，硕士学位获得者20余人，形成了力量较强的并且比较合理的科研、教学和人才培养的技术力量梯队。现任所长为张义门教授。
半导体器件与微电子学学科站建于1959年，经过37年，已经建成一个学术梯队结构合理，研究方向有特色，学术空气浓厚，有较好的科研和教学基础设施的学科。1981年开始招收硕士研究生，1986年被国务院学位委员会授予硕士学位授予权，1990年被评为机电部部级重点学科，是西安电子科技大学今后重点支持和发展的学科之一。
该所主要研究方向为：半导体器件与电路的可靠性技术；新型半导体薄膜材料和器件技术；集成电路计算机辅助设计和专用集成电路。“八五”以来，本学科先后承担了国家攻关、863计划、自然科学基金、军事预研、国防预研基金、部委基金以及地方政府或企业委托的科研项目，取得了一批成果。其中，获得国家和省部级奖励25项；国家级奖励1项；省部级一等奖2项，二等奖4项，三等奖18项；在国内外学术刊物和重要学术会议上发表论文353篇；出版专著、统编教材、译著16部；已培养硕士研究生60余名，目前在校研究生近30名。
微电子研究所拥有全套半导体器件研制生产线设备，各种测量仪器仪表和集成电路分析与设计设备等共计445台，资产总值约345万元。
近年来，微电子所承担完成了国家自然科学基金、国家科技攻关、“863”高技术项目、装备预研计划等国家级和部省级以上科研项目80余项，取得了一大批达到国际先进水平和国内领先水平的科研成果。获得国家科技进步奖和国家发明奖4项，部(省)级科技进步奖40余项。
微电子所具有优良的科研和教学条件，拥有科研实验用房1600平方米，拥有一批进口测试仪器和ECRCVD、光CVD等国内先进工艺设备以及一条完整的集成电路研制生产线，拥有若干台SUN图形工作站及百余台各种高档微机。
