微纳米加工技术及其应用
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分類: 图书,工业技术,一般工业技术,
作者: 崔铮著
出 版 社: 高等教育出版社
出版时间: 2009-5-1字数: 600000版次: 2页数: 367印刷时间: 2009-5-1开本: 16开印次: 1纸张: 胶版纸I S B N : 9787040263589包装: 精装
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本书集作者多年来的实践经验与研究成果,并结合近年来国际上的最新发展,综合介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子柬曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型的工艺参数;充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项;以大量图表与实例说明各种加工方法,避免烦琐的数学分析;并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用,演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。
与国内外同类出版物相比,本书的显著特点是将用于超大规模集成电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍,并加以比较;首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型,突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展,并列举了大量参考文献与互联网链接网址,供读者进一步发掘详细信息与深人研究,因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生,还是对已经有一定工作经验的专业科技人员,都具有很好的参考价值。
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东南大学(原南京工学院)本科毕业(1981),并获该校硕士(1984)和博士(1988)学位。11989年受英国国家科学与工程研究委员会访问研究基金资助(SERC Visiting Fellowship),到英国剑桥大学微电子研究中心做博士后研究。1993年到英国卢瑟福国家实验室微结构中心做高级研究员,1999年以来任微纳米技术首席科学家(Principal Scientist),曾任微系统技术中心负责人,现负责微纳米技术的工程应用(Group Leader)。十多年来先后参加了8项欧洲共同体联合研究项目,并担任其中两个项目的主持人。任欧洲微机电/微光机电设计、测试、集成与封装年会的程序委员会委员,国际微纳光刻、微机电与微光机电系统杂志(Journal of Micro/Nanolithography,MEMS and MOEMS)编委,欧洲第七框架研究计划纳米技术分计划的评审专家,英国国家科研项目评审专家,并应邀为多种学术杂志评审论文;英国物理学会会员,英国工程技术学会(IET)资深会员(Fellow)。1994年以来开始与国内开展合作,先后受聘为国内多家科研单位与大学的客座研究员、客座教授。先后4次受王宽诚科研奖金资助回国进行合作研究与讲学。2001年以来,先后主持了两项由英国皇家学会资助的中一英联合研究项目。2002年受聘为中国科学院海外评审专家。2004年获中国科学院海外杰出学者(B类)基金。2007年参加中国科学院物理研究所纳米电子材料与器件海外合作团队。先后独立与合作发表学术论文190余篇。2005年出版中文专著《微纳米加工技术及其应用》(高等教育出版社),2006年出版该书的英文版《Micro-Nanofabrication Technologies and Applications》,2008年出版英文专著《Nanofabrication:Principles,Capabilities and Limits》(Springer)。
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第1章 绪论
第2章 光学曝光技术
第3章 电子束曝光技术
第4章 聚焦离子束加工技术
第5章 扫描探针加工技术
第6章 复制技术
第7章 沉积法图形转移技术
第8章 刻蚀法图形转移技术
第9章 简介纳米加工技术
第10章 自组装纳米加工技术
第11章 微纳米加工技术的应用
索引
结束语