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　　分類: 图书,计算机/网络,计算机理论,

作者： 章吉良,杨春生等编著

出 版 社： 上海交通大学出版社

出版时间： 2000-1-1字数：版次： 第一版页数： 163页印刷时间：开本：印次：纸张：I S B N ： 9787313023070包装： 平装内容简介

本书介绍了微机电系统概论；高深宽比微加工技术；微传感器与微执行器；键合技术；微机电系统的相关电路及应用实例等。

 

 

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