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　　分類: 图书,工业技术,化学工业,合成树脂与塑料工业,

作者： （日）麻蒔立男著，陈国荣等译

出 版 社： 化学工业出版社

出版时间： 2009-5-1字数：版次： 1页数： 336印刷时间：开本： 大32开印次： 1纸张：I S B N ： 9787122045881包装： 平装内容简介

本书较为系统、全面地介绍了与薄膜制备技术相关的各种基础知识，涉及了薄膜制备系统、典型的物理制膜与化学制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技术，同时紧密结合当前薄膜领域最先进的技术、方法和装置。

原外版书作者长期在薄膜科学与技术领域从事研究、开发和教育工作，有丰富的工作经验与广博的专业知识。本书自初版以来，已有三十余年，迄今已4次再版，反映了本书在这一领域具有较为深远的影响。

本书的内容丰富，由浅入深，对于材料科学、微电子专业学生而言是一本良好的基础教材；对于在这一领域学习、工作的人员而言，具有很好的参考价值。

目录

第1章薄膜技术

1.1生物计算(biocomputing)和薄膜技术

1.2医用微型机械

1.3人工脑的实现（μElectronics）

1.4大型显示的实现

1.5原子操控

1.6薄膜技术概略

参考文献

第2章真空的基础

2.1真空的定义

2.2真空的单位

2.3气体的性质

2.3.1平均速率 Va

2.3.2分子直径 δ

2.3.3平均自由程 L

2.3.4碰撞频率 Z

2.4气体的流动和流导

2.4.1孔的流导

2.4.2长管的流导 （L/a≥100）

2.4.3短管的流导

2.4.4流导的合成

2.5蒸发速率

参考文献

第3章真空泵和真空测量

3.1真空泵

3.1.1油封式旋片机械泵

3.1.2油扩散泵

3.1.3吸附泵

3.1.4溅射离子泵

3.1.5升华泵

3.1.6冷凝泵

3.1.7涡轮泵（分子泵）和复合涡轮泵

3.1.8干式机械泵

3.2真空测量仪器——全压计

3.2.1热导型真空计

3.2.2电离真空计——电离规

3.2.3磁控管真空计

3.2.4盖斯勒（Geissler）规管

3.2.5隔膜真空计

3.2.6石英晶振真空计

3.2.7组合式真空规

3.2.8真空计的安装方法

3.3真空测量仪器——分压计

3.3.1磁偏转型质谱仪

3.3.2四极质谱仪

3.3.3有机物质质量分析IAMS法

参考文献

第4章真空系统

4.1抽气的原理

4.2材料的放气

4.3抽气时间的推算

4.4用于制备薄膜的真空系统

4.4.1残留气体

4.4.2用于制备薄膜的真空系统

4.5真空检漏

4.5.1检漏方法

4.5.2检漏应用实例

参考文献

第5章薄膜基础

第6章薄膜的制备方法

第7章基板

第8章蒸镀法

第9章溅射

第10章 气相沉积CVD和热氧化氮化

第11章刻蚀

第12章精密电镀

第13章平坦化技术

参考文献

书摘插图

第1章 薄膜技术

薄膜技术的目标为如下三点：

（i）人类的前瞻技术的开发。

（ii）基于高密度化、高功能化、高可靠性、低价格化的“轻、薄、短、小”器件的实现。

（iii）巨型器件的实现。

着眼点是能进行原子尺度的超微细加工的技术。利用这些技术，一定可以实现人类目前尚没有掌握的各种前瞻技术。利用薄膜技术制造出的各种产品，反过来又会对薄膜技术提出更高的要求和促进它的研究和不断发展。

人们正对神经细胞和网络进行研究，‘也许有一天人们真能造出人工大脑来。微机械、纳机械等能拯救人的生命的许多先进技术也一定能开发出来。人们正感受到的以硅为基础的微电子技术正越来越高密度化、高功能化、高可靠化以及低价格化。轻、薄、短小化的不断进展，像人脑一样优异的人工大脑就有可能被制造出来。

对于电子器件，另一个发展的方向（对应于“微”的方向）是向巨大器件方向发展。坐在家中，在巨大的屏幕前身临其境地看电视的愉快日子不会太远了。不仅如此，能制造这些器件从而实现人们的这些梦想的薄膜技术是这些器件从研究到产业化的核心。

……

 

 

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