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　　分類: 图书,教材教辅与参考书,大学,工科,
　　品牌: 石庚辰

基本信息·出版社：中国电力出版社

·页码：268 页

·出版日期：2006年

·ISBN：7508343840

·条形码：9787508343846

·包装版本：1

·装帧：平装

·开本：16开

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编辑推荐本书全面系统地介绍了有关微机电系统的基本知识，内容包括：微机电系统概述、微机电系统的材料、硅集成电路工艺基础、MEMS加工技术、微机电系统的设计方法学、微机电系统的组成、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。本书内容丰富，讲解通俗易懂，具有很强的可读性。

目录

前言

1 微机电系统概述

1.1微机电系统技术的基本概念及特点

1.2微机电系统的研究领域

1.3微机电系统采用的材料

1.4主要工艺技术

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